工件安装及真空箱关门

操作者将扫码成功后的工件放入真空箱内，再将工件接口与真空箱内的快速接头进行连接；

手动按下启动按钮；

真空箱自动下降并与真空箱底板形成密封后，检测循环随即开始；

注：在真空箱两侧装有光栅保护器及机械保护装置，关闭真空箱门时，确保合箱区域内没有干涉真空箱运动的物件。

真空箱抽真空及工件大漏检测

自动对真空箱进行抽真空，直至箱内真空度达到设定的开检压力；

同时：

自动向工件内充入高压气体，直至工件内的压力达到设定值；

自动对工件进行保压，并根据工件内的压降值判断工件是否有大漏：

如果工件内的压降值超过设定范围，表明工件有大漏，自动排出工件内的高压气体，中止检漏流程；

如果工件内的压降值未超过设定范围，表明工件大漏检测合格，自动排出工件内的高压气体，直到达到设定的压力值；

在以上检测过程中，如果：

真空箱内真空度在设定的抽空限时内不能达到设定的真空值

工件内的气体压力在设定的充气限时内不能达到设定的压力值

工件放气时在设定的放气限时内不能达到设定的排气压力

系统将中止检漏程序，并发出报警信号；

工件抽真空

自动对工件抽真空，直至工件内真空度达到设定的真空值，然后等待真空箱的压力达到开检压力；

在工件抽空过程中，如果：工件内真空度在设定的抽空限时内不能达到设定的真空值；系统将中止检漏程序，并发出报警信号；

本底抑零、工件充氦及真空氦检

自动检测真空箱内的氦气本底信号，并对本底信号抑零；

自动向工件内充入氦气，直至工件内的压力达到设定值；

自动对工件进行微漏判断：

如果检漏仪发现真空箱内有超过设定值的氦信号，表明工件有微漏，操作界面上给出微漏指示信号；

如果检漏仪未发现真空箱内有超过设定值的氦信号，表明工件微漏检测合格，操作界面上给出合格信号；

真空箱充气

自动向真空箱内充入大气；

同时：

自动回收工件内的氦气；

在氦气回收过程中，如果：

工件内回收后的真空度在设定的回收时间内不能达到设定值，流程中止，系统将发出报警信号；

工件卸载

如果检测合格：

真空箱自动上升；

操作者将箱内接头与工件接口脱开；

如果检测不合格：

手动按下确认按钮；

真空箱自动上升；

操作者将箱内接头与工件接口脱开；

如果检测过程中设备出现报警：

手动按下确认按钮；

真空箱自动上升；

按触摸屏故障信息提示，解除报警状态，然后重新检测工件。